探針臺 EG2001
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概述：
EG2001是半導(dǎo)體6英寸及以下晶片在片測試生產(chǎn)的全自動探針臺，設(shè)計上具有高精度、模塊化的特點，可以按照客戶的功能要求進行組件的選配。通過可選組件的配置可以實現(xiàn)自動上卸片、晶片自動對準(zhǔn)、自動測試、載片臺(CHUCK)溫度控制、自動分選等功能。
EG2001系列自動探針臺的核心是采用空氣靜壓軸承的Linear Reluctance Stepper Motor 磁阻式平面步進電機。該結(jié)構(gòu)具有氣浮軸承長期連續(xù)使用無機械磨損、控制系統(tǒng)完善、步進精度高、啟停迅速、噪音小、維護方便等優(yōu)點。
